募集中全国対象
非常に難しい
準備期間の目安: 約30

「ポスト5G情報通信システ厶基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(補助)」の公募

基本情報

補助金額
金額未定
募集期間
2026-03-13 〜 2026-04-13
残り30
対象地域日本全国
対象業種学術研究 / 専門・技術サービス業

この補助金のまとめ

本事業は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)が推進する「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」の一環として、先端半導体製造技術の開発を対象とした補助事業です。2026年3月13日から4月13日まで公募を実施しており、半導体製造プロセスの高度化・微細化に取り組む企業や研究機関を支援します。 日本の半導体産業は、経済安全保障の観点から国内製造基盤の強化が急務となっています。本事業では特に、ポスト5G通信インフラを支える先端ロジック半導体や次世代メモリ等の製造技術開発に焦点を当て、国産技術の自立化・高度化を促進します。補助対象は製造装置・材料・プロセス技術の研究開発費であり、中堅・大企業から大学・研究機関まで幅広く応募可能です。採択後は事業化計画に基づいた成果の社会実装が求められます。半導体国産化という国家的課題に応える技術開発プロジェクトへの参加機会として、ぜひ活用をご検討ください。

この補助金の特徴

1

補助対象技術の範囲

ポスト5G・6G通信インフラの実現を支える先端半導体の製造技術全般が対象です。具体的には、極端紫外線(EUV)リソグラフィ技術、原子層堆積(ALD)プロセス、マルチパターニング技術など、2nm以降世代の製造プロセスに関わる革新的技術開発が含まれます。装置・材料・設計の各レイヤーにまたがる統合的な技術開発提案が期待されます。

2

補助率と補助上限額

本補助事業の補助率は対象経費の2/3以内です。補助上限額はプロジェクトの規模・技術難易度・事業化見通しに応じて設定され、大型案件では数十億円規模の支援も想定されています。詳細な上限額はNEDO事務局への問い合わせが必要ですが、国家プロジェクトとして相当規模の支援が期待できます。

3

経済安全保障との連動

本事業は「経済安全保障推進法」に基づく特定重要技術の育成・保護と連動しています。半導体製造技術は同法の「特定重要物資」として指定されており、採択プロジェクトは機密管理・情報セキュリティ体制の整備が求められます。国際的なサプライチェーンリスクへの対応力強化という観点からも、高い戦略的意義を持つ事業です。

4

コンソーシアム型での応募推奨

単独企業での応募も可能ですが、装置メーカー・材料メーカー・半導体製造企業・大学・公的研究機関が連携したコンソーシアム形成が推奨されています。サプライチェーン全体を視野に入れた統合的な技術開発体制の構築が、採択審査における重要な評価ポイントとなります。

5

成果の社会実装と知財管理

NEDO事業では採択後の成果管理が厳格に定められています。研究開発成果は原則として補助事業者が知的財産権を取得し、事業終了後5年以内の事業化(量産・商業化)を目指す計画の策定が必須です。また、外国への技術移転や特許の外国出願には事前承認が必要であり、安全保障上の管理が徹底されます。

ポイント

本事業の最大の特徴は、経済安全保障政策と直結した国家戦略レベルの補助事業である点です。補助率2/3・大型予算・複数年度継続支援の組み合わせにより、民間単独では困難なリスクの高い先端技術開発を可能にします。コンソーシアム形成による産学官連携が採択の鍵となります。

対象者・申請資格

法人格・組織要件

  • 国内に登記された法人(株式会社、合同会社、有限会社等)
  • 国立大学法人、公立大学法人、学校法人
  • 国立研究開発法人、公益法人
  • 中小企業から大企業まで規模を問わず応募可能

技術・事業要件

  • 先端半導体製造技術(製造プロセス、製造装置、製造材料)の研究開発を行う能力を有すること
  • 研究開発成果を5年以内に事業化する具体的な計画を有すること
  • 技術開発に必要な設備・人材・資金調達能力を有すること
  • 知的財産の適切な管理・活用体制を構築できること

セキュリティ・コンプライアンス要件

  • 経済安全保障上の機密情報を適切に管理できる体制を整備していること
  • 外国資本・外国人役員等に関する情報開示に応じられること
  • NEDOが定める情報セキュリティガイドラインに準拠できること

コンソーシアム応募の場合

  • 代表機関(幹事法人)を明確に定めること
  • 参加機関間の役割分担・費用分担を明示した協定書を締結していること
  • コンソーシアム全体として技術・事業化の完結性があること

ポイント

大企業・中小企業・大学・研究機関と幅広く応募可能ですが、先端半導体分野での技術的実績と事業化能力の証明が審査の核心です。経済安全保障への配慮として、外国資本・外国籍関係者の関与については詳細な情報開示が求められます。

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申請ガイド

1

Step 1: 公募要領の精読と技術テーマ確認

NEDO公式サイト(https://www.nedo.go.jp/koubo/IT2_100391.html)から最新の公募要領・様式集をダウンロードします。技術テーマ・補助上限額・評価基準を詳細に確認し、自社技術の適合性を判断してください。公募説明会への参加も強く推奨されます。

2

Step 2: コンソーシアム体制の構築

単独応募か共同応募かを決定します。コンソーシアム形成の場合は、装置・材料・プロセスの各専門企業と大学・研究機関を組み合わせ、技術開発の全体設計を行います。代表機関(幹事法人)の選定と参加機関間の協定書締結を進めます。

3

Step 3: 研究開発計画書の作成

技術開発の目標・マイルストーン・実施体制・予算計画を詳細に記述した提案書を作成します。ポスト5G・6G実現への技術的貢献の明確化、競合技術との差別化、事業化シナリオの具体性が評価されます。

4

Step 4: 経費積算と財務計画の整備

補助対象経費(人件費・設備費・外注費・間接経費等)を詳細に積算します。補助率2/3を踏まえた自己負担分の資金調達計画も明確にする必要があります。

5

Step 5: e-Radによる電子申請(〆切: 2026年4月13日)

府省共通研究開発管理システム(e-Rad)を通じて電子申請します。e-Radの利用者登録が未済の場合は早急に手続きを開始してください。〆切直前はシステム混雑が予想されるため、余裕を持った申請を心がけてください。

ポイント

公募期間は約1か月(2026年3月13日〜4月13日)と短期間です。コンソーシアム形成・協定書締結・e-Rad登録には相応の時間が必要なため、公募開始直後から準備を加速することが重要です。NEDO担当者への事前相談も積極的に活用しましょう。

審査と成功のコツ

技術の革新性と実現可能性のバランス
採択審査では「野心的な技術目標」と「現実的な実施計画」の両立が評価されます。単に困難な目標を掲げるだけでなく、保有技術・設備・人材を根拠に達成可能性を定量的に示すことが重要です。過去の先行研究・特許・論文を根拠として技術的実績を明確に提示してください。
ポスト5G・6Gへの明確な貢献ストーリー
本事業のKPIであるポスト5G実現(2030年代の商用化)への具体的な技術的貢献を明確に描いてください。通信速度・遅延・消費電力・コストの各指標における改善目標を数値で示し、開発する半導体技術がその改善をどう実現するかを説明します。
国産化・サプライチェーン強靭化の訴求
経済安全保障・サプライチェーン多様化という政策文脈に沿った提案ストーリーが審査で有利に働きます。現状の輸入依存状況の分析、自国技術確立による代替可能性、国内産業への波及効果を具体的に記述してください。
事業化計画の具体性と説得力
採択後5年以内の事業化を示す具体的なロードマップを提示します。パイロット量産ラインの構築計画、想定顧客・市場規模の試算、収益化シナリオの合理性が評価ポイントです。既存の顧客関係・販売チャネルの活用も記述すると説得力が増します。
知財戦略と情報管理体制
開発成果の知財化計画(特許出願・ノウハウ管理)と、外国への技術漏洩を防ぐ情報セキュリティ体制の整備計画を具体的に示してください。NEDOは経済安全保障の観点から知財管理を重視しており、この点の記述が審査に大きく影響します。

ポイント

採択率向上の最重要ポイントは「国家戦略との整合性」です。審査員は技術の優秀さに加え、「この技術が日本の経済安全保障・半導体国産化にどう貢献するか」を最重視します。技術計画だけでなく政策的意義の訴求に十分な紙面を割いてください。

対象経費

対象となる経費

人件費(4件)
  • 研究員・技術者の給与・賞与(補助事業従事時間按分)
  • ポスドク・研究補助員の人件費
  • プロジェクトマネージャーの人件費
  • 専門技術者の社会保険料事業主負担分
設備・装置費(4件)
  • 半導体製造実験装置の購入・リース費用
  • 計測・評価装置(電子顕微鏡、表面分析装置等)
  • クリーンルーム関連設備の整備費
  • シミュレーション用高性能コンピュータシステム
材料・消耗品費(4件)
  • 半導体製造プロセス用特殊材料・化学薬品
  • 研究開発用ウェハ・基板類
  • 製造装置用消耗部品
  • 分析・評価用試薬・標準試料
外注・委託費(4件)
  • 専門分析機関への評価・試験委託費
  • 技術コンサルタントへの委託費
  • コンソーシアム参加機関への再委託費
  • 製造プロセス試作の外部委託費
知的財産関連費(3件)
  • 特許出願・権利化費用(国内・海外)
  • 先行技術調査・特許マップ作成費
  • 知財戦略策定コンサルティング費
その他直接経費(3件)
  • 国内外出張・調査旅費
  • 学会発表・論文投稿費
  • 研究開発関連情報収集費(文献・データベース等)
間接経費(3件)
  • 直接経費の30%以内(施設使用料・共通管理費等)
  • 光熱水費・通信費の按分
  • 建物・設備の減価償却費按分

対象外の経費

対象外の経費一覧(7件)
  • 土地・建物の取得費用(不動産購入費)
  • 汎用性が高く研究開発目的に特化しない設備(一般的なオフィス機器等)
  • 補助事業期間外の経費・前払い費用
  • 外国への技術移転・特許出願費用(事前承認なしの場合)
  • 接待交際費・慶弔費・罰金・違約金
  • 消費税(仕入税額控除が可能な場合)
  • 研究開発と無関係な一般管理業務の人件費

よくある質問

Q中小企業でも応募できますか?大企業でないと不利ですか?
A

中小企業も応募可能です。本事業は企業規模による制限を設けていません。ただし、先端半導体分野の技術開発には相応の研究設備・専門人材・資金力が必要であるため、単独応募の場合は自社リソースの充実度が審査で問われます。中小企業が不利とならないよう、大企業・大学との連携コンソーシアムを形成することで、技術・資金・人材の補完が可能です。特定分野(例:特殊材料、精密部品、専門計測)で他社に代え難い技術・製品を持つ中小企業は、コンソーシアムの参加機関として高い価値を発揮できます。

Qコンソーシアムを組む場合、参加機関はどのように選べばよいですか?
A

コンソーシアムの構成は審査の重要評価項目です。理想的な構成は「技術開発の全工程をカバーできる多様な専門性」と「事業化まで見通せる産学連携」の組み合わせです。具体的には、①プロセス技術を担う半導体メーカー・ファブ、②装置技術を担う製造装置メーカー、③材料技術を担う化学・材料メーカー、④基礎研究・人材供給を担う大学・研究機関、という構成が典型例です。参加機関が多すぎると管理コストが増大するため、5〜8機関程度を目安にした精鋭チームが推奨されます。

Q「ポスト5G」と「6G」の違いは何ですか?本事業はどちらを対象としていますか?
A

「ポスト5G」は現行5Gを高度化した次世代通信規格(5Gbps以上の通信速度、1ms以下の遅延を目標)で、2025〜2030年頃の商用化が見込まれています。「6G」はさらにその次世代(2030年代後半の商用化想定)であり、テラヘルツ波通信・AI統合等の技術革新を伴います。本NEDO事業は主にポスト5G実現に必要な半導体技術の開発を対象としていますが、6G対応を見据えた研究開発提案も採択対象となり得ます。重要なのは、開発する半導体技術が次世代通信インフラの性能向上(高速化・低消費電力化・高集積化)にどう貢献するかを明確に説明することです。

Qe-Rad(府省共通研究開発管理システム)とは何ですか?初めての場合どうすればよいですか?
A

e-Radは文部科学省・経済産業省等の府省が共同運用する研究開発補助金の電子申請システムです。NEDOの補助事業への申請はすべてe-Rad経由で行います。初めて利用する場合は、まず機関登録(法人単位)と研究者登録(担当者個人)の2段階の登録が必要です。機関登録には数日〜1週間程度かかる場合があるため、公募開始直後に着手してください。登録後は、e-Rad上でNEDOの当該公募を検索し、所定の申請様式に従って入力・提出します。

Q採択後、研究計画を変更することはできますか?
A

採択後の研究計画変更はNEDOへの事前承認申請が必要です。変更できる範囲・手続きは変更の性質によって異なります。軽微な変更(担当者の変更、経費の流用等)は書面通知で対応できる場合がありますが、研究目標・実施体制・予算規模の大幅変更はNEDOとの協議と承認が必要です。また、コンソーシアム参加機関の追加・離脱は原則として認められますが、全体の技術完結性に影響する場合は慎重に対応が必要です。

Q本事業の成果(特許・ノウハウ)は自社で独占できますか?外国への特許出願は可能ですか?
A

補助事業で生じた成果の知的財産権は、原則として補助事業者(企業・研究機関)に帰属します。ただし、NEDOは「通常実施権」を無償で有し、国の施策上必要な場合に成果を利用できる権利を保持します。外国への特許出願は禁止されていませんが、事前にNEDOへの承認申請が必要です。経済安全保障上センシティブな技術については、外国出願・外国企業へのライセンス付与に際して厳格な審査が行われます。

QID 40758の公募と何が違いますか?両方に応募できますか?
A

本事業(ID 40757)はID 40758と事業名が類似していますが、異なる公募URLを持つ独立した公募です。実施機関・技術テーマ・審査委員会・予算枠が別々に設定されています。同一の研究内容・経費で両公募に応募することは二重申請として禁止されていますが、技術テーマ・実施内容を明確に差別化した提案を準備すれば、原則として両方への応募は可能です。

Q補助事業が不採択になった場合、次回以降も応募できますか?
A

不採択となった場合でも、次回公募以降への再申請は原則として制限されていません。NEDOは毎年度または複数年度にわたって同種の公募を継続する場合があるため、不採択の場合は審査講評を参考に提案内容を改善して再挑戦することをお勧めします。採択されなかった主な理由として多いのは、①技術の革新性・優位性の説明不足、②事業化計画の具体性不足、③コンソーシアム体制の弱さ、④経済安全保障への配慮不足です。

Q他の補助金・助成金と併用できますか?
A

本事業は経済安全保障・半導体国産化という国家的課題に対応した大型補助事業であり、他の補助金・支援施策との組み合わせによる効果最大化が重要です。 経済産業省・METI系の支援としては、「半導体・デジタル産業戦略」に基づく設備投資補助(半導体関連の大規模投資補助)との組み合わせが有効です。本事業が研究開発フェーズを担い、量産化フェーズで設備投資補助を活用するという段階的活用が理想的です。 中小企業向けには、ものづくり補助金(製造プロセス革新設備導入)やJST(科学技術振興機構)のA-STEPプログラム(大学技術の事業化支援)との連携も有効です。大学・研究機関との共同研究の場合、JST産学共創プログラムの活用も検討できます。 税制面では、研究開発税制(試験研究費の法人税額控除)を本事業の自己負担分に適用することで実質的な負担軽減が可能です。開放特許・大学との共同研究に適用される「オープンイノベーション促進税制」も検討に値します。 注意点として、同一経費への複数補助金の重複受給は禁止されています。各事業の対象期間・対象経費を明確に区分し、補助事業ごとの経費管理体制を整備してください。また、NEDO事業では補助金収入に係る税務処理(圧縮記帳等)についても事前に税理士等に相談することを推奨します。

詳細説明

事業概要:先端半導体製造技術の開発補助事業とは

「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(補助)」は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)が実施する国家プロジェクトです。次世代通信規格「ポスト5G」および「6G」の商用化を支える半導体製造技術の革新と、日本国内での製造基盤強化を目的としています。

背景:なぜ今、半導体製造技術の国産化が急務なのか

半導体は現代の産業・安全保障の基盤を支える「産業のコメ」です。2020年代以降、米中技術覇権争いや新型コロナウイルスによるサプライチェーン混乱を契機として、各国が半導体の自国製造能力強化に巨額投資を行っています。日本においても、経済安全保障推進法(2022年施行)のもと、半導体が「特定重要物資」として指定され、製造基盤の国内確保が国策として推進されています。

ポスト5Gが実現する高速・大容量・低遅延通信(5Gbps以上の通信速度、1ms以下の遅延)を達成するためには、現行の5nm・3nmを超える2nm以降世代の先端半導体が不可欠です。この超微細加工技術の確立に向けて、製造プロセス・製造装置・材料の各分野で革新的な技術開発が求められています。

対象技術分野:何を開発すればよいか

  • 先端リソグラフィ技術:EUV(極端紫外線)露光技術の高精度化・高スループット化、次世代High-NA EUV対応プロセス開発
  • 堆積・エッチング技術:原子層堆積(ALD)・エッチング(ALE)の精密制御、3D積層構造形成技術
  • 計測・検査技術:原子レベルの欠陥検出・計測技術、インラインモニタリング技術の高度化
  • 設計・製造連携(DFM)技術:製造制約を考慮した回路設計最適化、AIを活用したプロセス最適化
  • 半導体材料技術:High-k誘電体・低抵抗金属配線材料・新世代フォトレジスト等の開発

補助内容と申請資格

補助率は対象経費の2/3以内です。補助対象者は、国内に法人格を有する企業(中小企業・中堅企業・大企業を問わず)、国公私立大学、国立研究開発法人等です。コンソーシアム(複数機関の連合体)での応募が特に推奨されており、サプライチェーン全体をカバーする統合的な提案が高く評価されます。

審査プロセスと評価基準

書類審査(第1次審査)と審査委員会によるヒアリング(第2次審査)の二段階で選考されます。評価基準は主に以下の観点です:

  • 技術的優位性:国際競争力のある技術革新か、先行技術との差別化は明確か
  • 政策的重要性:ポスト5G実現・経済安全保障への貢献度
  • 実施体制の適切性:技術・人材・設備の保有状況、コンソーシアムの構成バランス
  • 事業化の実現可能性:5年以内の具体的な事業化計画、市場規模と収益見通し
  • 知財・情報管理体制:経済安全保障上の適切な管理体制

スケジュールと手続き

  • 公募期間:2026年3月13日〜2026年4月13日
  • 申請方法:府省共通研究開発管理システム(e-Rad)による電子申請
  • 採択発表:公募締切後2〜3か月程度(NEDO発表による)
  • 事業実施期間:採択決定後〜最長5か年(年度ごとに継続審査あり)

採択後のフォローアップ義務

NEDOの補助事業に採択された場合、以下の義務が発生します:

  • 年度ごとの実施計画書・実績報告書の提出
  • 中間評価・事後評価への対応(外部有識者委員会による評価)
  • 成果の公表(論文・学会発表・特許出願等)
  • 補助事業終了後5年間の事業化・収益状況の報告
  • 知的財産の適切な管理と外国移転の事前承認申請

本事業活用のポイントまとめ

本補助事業は、日本の半導体産業の将来を左右する国家プロジェクトへの参画機会です。補助率2/3という高水準の支援に加え、NEDOブランドの後ろ盾は企業の信頼性向上や人材採用においても大きなプラスとなります。公募期間は約1か月と短く、コンソーシアム形成・提案書作成には十分な準備期間が必要です。e-Rad登録・NEDO担当者との事前相談・公募説明会参加を早期に実施し、採択に向けた準備を進めてください。